单轴电动压电载物台
SIMTRUM提供广泛的电动压电工作台，包括线性压电工作台，垂直压电工作台，旋转压电工作台，压电俯仰和偏航平台，压电物镜扫描仪。
| 产品 |
行程距离 |
最大负载能力 |
最大速度 |
最小步长 |
可重复性 |
线性压电级
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10 ~ 25mm
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0.3 ~ 2kg
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100mm/s
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50nm ~ 3um
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±200nm ~ ±5um
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| 垂直压电载物台 |
±2.5 ~ ±12.5mm |
0.5 ~ 3kg |
20 ~ 100mm/s |
50nm |
±100 ~ ±200nm |
| 旋转压电阶段 |
90° ~ 360° |
1.5 ~ 5kg |
30°/s ~ 360°/s
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0.0005° ~ 0.001° |
±0.002° |
| 压电俯仰和偏航平台 |
±7 ~ ±5mm |
2kg |
＞20°/s |
＜0.0001° |
±0.0005° |
压电物镜扫描仪
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6 ~ 20mm(3)
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0.5 ~ 3.5kg(5）
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≥100mm/s
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50nm
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±200nm
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