工业计划物镜
SIMTRUM为明场或明场和暗场提供工业计划物镜。
名称 |
观察方法 |
放大倍数 |
NA |
工作距离(MM) |
F(MM) |
R(um) |
平场萤石物镜落射同轴照明明场 |
明场 |
5X,10X,20X,100X |
0.15, 0.3, 0.45, 0.8, 0.9 |
1, 3, 11, 20 |
2, 4, 10 ,20, 40 |
0.31, 0.34, 0.6, 0.9, 1.8 |
长工作距离平场萤石物镜落射同轴照明明场 |
明场 |
20X,50X,100X |
0.4, 0.5, 0.8 |
3.1, 10.4, 12 |
2, 4, 10 |
0.34, 0.55 ,0.7 |
平场物镜明场 |
明场 |
5X,10X,20X,100X |
0.13, 0.3 ,0.4, 0.55, 0.8 |
2, 6.8, 8.2, 11.1, 11.5 |
2, 4, 10, 20, 40 |
0.34, 0.5, 0.7, 0.9, 2.1 |
平场萤石物镜落射同轴照明明暗场 |
明场和暗场 |
5X,10X,20X,100X |
0.15, 0.3 ,0.45, 0.8, 0.9 |
1, 3, 11, 20 |
2, 4, 10, 20, 40 |
0.31, 0.34, 0.6, 0.9, 1.8 |
长工作距离平场萤石物镜落射同轴照明明暗场 |
明场和暗场 |
20X,50X,100X |
0.4, 0.5, 0.8 |
3.1, 10.4, 12 |
2, 4, 10 |
0.34, 0.55, 0.7 |
平场物镜明暗场
|
明场和暗场 |
5X,10X,20X,100X |
0.13, 0.3, 0.46, 0.75, 0.9 |
1.4, 1.8, 3.6, 6, 11 |
2, 4, 10, 20, 40 |
0.31, 0.37, 0.6, 0.9, 2.1 |