电动压电平台
SIMTRUM提供各种电动压电平台，包括单轴电动压电平台、多轴电动压电平台。
| 产品 |
行驶距离 |
最大负载能力 |
最大速度 |
最小步长 |
重复性 |
单轴电动压电载物台
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0 ~ 25 mm
90° ~ 360° |
0.3 ~ 5 kg
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20 ~ 100 mm/s
＞20°/s ~ 360°/s |
50nm ~ 3um
＜0.0001° ~ 0.001° |
± 100nm ~ ± 5um
± 0.0005° ~ ± 0.002° |
XY电动压电载物台
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50 x 25 mm ~ 105 x 105 mm
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1 ~ 10 kg
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50 ~ 100 mm/s
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20 ~ 100nm
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± 200nm
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| 多轴电动压电载物台 |
± 6 ~ ± 25 mm
± 5° ~ ± 6°
(可定制) |
0.15 ~ 10 kg
(可定制)
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20 ~ 50 mm/s
(可定制)
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50 - 200 nm
0.0002° ~ 0.0005°
(可定制)
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± 200 ~ ± 300nm
± 0.0004° ~ ± 0.0005°
(可定制)
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| XY显微镜压电载物台 |
75 x 50 mm ~ 110 x 75 mm |
1 kg |
100 mm/s |
20 ~ 100 nm |
± 200nm |
| 真空无磁压电动台 |
18 ~ 70 mm |
1 ~ 10 kg |
100 mm/s |
150 ~ 300 nm |
± 500 |
| 纳米电动执行器 |
12 mm |
1.5 kg |
0.5 mm/s |
30 nm |
/ |
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