LL-LW-405-4-0.8--瑆创科技-专注于显微与光谱

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	Availability	Reference Price
LL-LW-405-6-0.8-Upgrade 重复性：0.1μm，行程：8"" 激光波长：405 nm（365/385 nm可选），默认配置：20x（0.8 微米，15 平方毫米/分钟），灰度：8 位、2K DMD 分辨率，随附高性能笔记本电脑	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-405-4-1.5 重复性：0.1μm ，行程：4"" ，激光波长：405 nm（365/385 nm可选），默认配置：10x（1.5 微米，60 平方毫米/分钟），灰度：8 位、2K DMD 分辨率，随附高性能笔记本电脑	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-405-6-0.8 重复性：0.1μm，载物台行程：6""（8""可选），激光波长：405 nm（365/385 nm可选），默认配置：20x（0.8 微米，15 平方毫米/分钟），灰度：8 位、2K DMD 分辨率，随高性能笔记本电脑一起交付	6-10 Weeks	Request for quote

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LL-LW-BSA 穿孔样品台允许基于真空的工件固定，不包括真空泵	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-BSA 仅适用于LL-LW-405-6-0.8，可实现两点对准，对准精度：< 2 um，下单前请确认显微镜放置位置	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-50 线宽：0.5 μm，图形速度：3 mm2/min	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-20 线宽：0.8 μm，图形速度：15 mm2/min	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-10 线宽：1.5 μm，图形速度：60 mm2/min	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-5 线宽：3 μm，图形速度：200 mm2/min	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-2.5 线宽：6μm	6-10 Weeks	Request for quote
LL-LW-Upgrade 双光源：405 nm+365 nm（软件可选），灰度：16位，3K DMD分辨率	6-10 Weeks	Request for quote

产品型号		LL-LW-405-4-0.8*		LL-LW-405-6-0.8*
可重复性		0.1 μm
自动对焦		压电驱动；快速且精准（20 nm）对焦兼容大多数透明基底
晶圆对准		自动晶圆对准
		仅顶部		顶部及底部（可选）
最大写场		106×106 mm		150×150 mm (8"可选)
最大样本尺寸		130 mm ✕ 130 mm ( 5"兼容)		155 mm ✕ 155 mm ( 6"兼容)
样品安装方式		摩擦安装（可选：多孔真空吸盘）
重量		20 kg		27 kg
系统尺寸		330×310×340 mm		342×385×338 mm
物镜		50×	20×*	10×*	5×
	最小线宽 (μm)	0.5	0.8	1.5	3
	图案化速度(mm2/min)	3	15	60	200
	激光曝光波长(nm)	405 nm（365/385 nm可选）支持软件选择双波长（选配）
	灰度级	8位（16位可选）
软件	支持的文件格式	.bmp, .png, .tiff, .dxf, .gds,图案可直接在软件中绘制
	图案设计	Beam Xplorer
	绘图	KLayout（功能最强大），AutoCAD